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基于InP工艺的小型化亚太赫兹人工表面等离子体激元传输线设计
文献摘要:
提出了一种基于人工表面等离子体激元(SSPPs)的亚太赫兹片上传输线,并在InP工艺基础上对其进行了结构设计和实物加工.为减小传统矩形槽SSPPs结构的占地面积,提出了一种折叠型SSPPs结构,在相同的渐近频率下,该结构的占地面积缩小了 57.2%.利用接地共面波导(GCPW)和阶梯渐变结构,实现了对SSPPs传输线的高效激励.利用太赫兹在片测试系统对该传输线进行了测试.测试结果表明,在110~170 GHz频带范围内,SSPPs传输线的插入损耗小于3 dB/mm,回波损耗优于12.5 dB,且实验结果与仿真结果具有较好的吻合度.
文献关键词:
表面光学;人工表面等离子体激元;传输线;InP工艺;太赫兹;在片测试
中图分类号:
作者姓名:
朱华利;张勇;黎雨坤;叶龙芳;魏浩淼;刘晓宇;徐锐敏;延波
作者机构:
电子科技大学极高频复杂系统国防重点学科实验室,四川成都611731;厦门大学电子科学与技术学院电磁声学研究院,福建厦门361005;厦门大学深圳研究院,广东深圳518057
文献出处:
引用格式:
[1]朱华利;张勇;黎雨坤;叶龙芳;魏浩淼;刘晓宇;徐锐敏;延波-.基于InP工艺的小型化亚太赫兹人工表面等离子体激元传输线设计)[J].光学学报,2022(21):198-203
A类:
人工表面等离子体激元
B类:
InP,小型化,亚太,太赫兹,传输线,SSPPs,小传统,矩形槽,占地面积,折叠型,渐近,接地共面波导,GCPW,渐变结构,在片测试,测试系统,GHz,频带,插入损耗,dB,回波损耗,吻合度,表面光学
AB值:
0.276804
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