典型文献
电子级四氟化碳高效节能精馏技术的研究
文献摘要：
四氟化碳(CF4)是微电子行业中用量最大的等离子蚀刻气体之一.在电子级CF4的制备工艺流程中,精馏提纯技术是CF4气体纯度能否达到电子级的关键所在.目前,本公司自主研发的电子级四氟化碳系统制备技术已实现工业化量产,但精馏提纯过程存在能耗较高,效率和收率较低等问题.针对以上问题,本项目设计开发了一款由冷凝器、再沸器和精馏塔三合一构成的不带捕集器的整体式精馏装置,采用多级液相分布精馏技术结合优化工艺操作参数,取得良好提纯效果,实现了节能、高效.
文献关键词：
四氟化碳;精馏;提纯;高效;节能;分离
中图分类号：
作者姓名：
阙祥育
作者机构：
福建德尔科技股份有限公司 福建 364204
文献出处：
引用格式：
[1]阙祥育-.电子级四氟化碳高效节能精馏技术的研究)[J].当代化工研究,2022(24):137-139
A类：
四氟化碳
B类：
电子级,高效节能,精馏技术,CF4,微电子,电子行业,蚀刻,制备工艺,提纯技术,气体纯度,统制,制备技术,本项,项目设计,设计开发,冷凝器,再沸器,精馏塔,三合一,捕集,整体式,精馏装置,液相分布,技术结合,优化工艺,工艺操作,操作参数,提纯效果
AB值：
0.357191
相似文献
机标中图分类号，由域田数据科技根据网络公开资料自动分析生成，仅供学习研究参考。
