典型文献
湿电子化学品之刻蚀液领域技术发展现状
文献摘要：
刻蚀液是功能性湿电子化学品中的一种,在集成电路、显示面板、太阳能电池等制程中均涉及,文章从刻蚀液专利申请量、申请人分布等方面分析了刻蚀液全球专利申请情况,并且基于刻蚀液的研发角度,从显示面板、集成电路、太阳能电池三个方面分析了刻蚀液的技术发展脉络.
文献关键词：
刻蚀液;湿电子化学品;集成电路;显示面板;太阳能电池
中图分类号：
作者姓名：
秦圆圆
作者机构：
国家知识产权局专利局专利审查协作江苏中心,江苏苏州215163
文献出处：
引用格式：
[1]秦圆圆-.湿电子化学品之刻蚀液领域技术发展现状)[J].化工管理,2022(16):95-98
A类：
湿电子化学品,刻蚀液
B类：
集成电路,显示面板,太阳能电池,制程,专利申请量,申请人,全球专利
AB值：
0.103974
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