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不同厚度TiAlN涂层的性能影响研究
文献摘要：
TiAlN涂层由于其优异的耐磨性和抗氧化性能被广泛运用于刀具车削加工以及部分模具涂层的表面.然而不同参数的TiAlN涂层性能有着较大的差异.本文通过控制沉积时间制备出了不同厚度的TiAlN涂层,并对其硬度、结合力、耐磨性能进行了研究.结果表明,沉积时间对于涂层的沉积速率较为稳定,涂层厚度对其硬度和结合力有着显著的影响.涂层硬度随着厚度的增加而增大,涂层的膜基结合力随着涂层厚度的增加而降低.
文献关键词：
TiAlN涂层;厚度;硬度;结合力
中图分类号：
作者姓名：
王自龙;王靖文
作者机构：
成都大学机械工程学院 四川 610106
文献出处：
引用格式：
[1]王自龙;王靖文-.不同厚度TiAlN涂层的性能影响研究)[J].当代化工研究,2022(24):67-69
A类：
B类：
TiAlN,抗氧化性能,刀具,车削加工,模具,同参数,涂层性能,沉积时间,耐磨性能,沉积速率,涂层厚度,涂层硬度,膜基结合力
AB值：
0.291031
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