典型文献
电弧离子镀制备TiN/TiSiN多层涂层及其性能研究
文献摘要：
为提高单一TiN涂层的性能,采用AS600DMTXBE型阳极层离子源辅助电弧离子镀系统制备TiN层和TiSiN 层厚度比分别为1 ∶ 2、2 ∶ 2、3∶1的TiN/TiSiN多层涂层.研究不同厚度比的TiN/TiSiN多层涂层的形貌、结构以及(性能,并与TiN涂层性能进行比较.结果表明:TiN/TiSiN多层涂层为TiN面心立方结构,其中厚度比为2∶2的 TiN/TiSiN多层涂层的TiN(111)衍射峰较强;厚度比为1 ∶ 2的TiN/TiSiN多层涂层摩擦因数最低,表明掺入Si的含量越大,涂层减摩性能越好;TiN/TiSiN多层涂层的减摩作用、硬度和结合强度都优于TiN涂层,且厚度比为2∶2的 TiN/TiSiN多层涂层的硬度和结合强度均最大;厚度比为2 ∶ 2的TiN/TiSiN多层涂层的耐腐蚀性最高,表明Si元素的掺入能够提升涂层的耐腐蚀性能.
文献关键词：
电弧离子镀;TiN/TiSiN多层涂层;TiN涂层;硬度;摩擦学性能
中图分类号：
作者姓名：
刘怡飞;宋启萌;李助军;田灿鑫
作者机构：
广州铁路职业技术学院机电工程学院 广东广州510430;岭南师范学院物理科学与技术学院 广东湛江524048
文献出处：
引用格式：
[1]刘怡飞;宋启萌;李助军;田灿鑫-.电弧离子镀制备TiN/TiSiN多层涂层及其性能研究)[J].润滑与密封,2022(06):116-122
A类：
AS600DMTXBE
B类：
电弧离子镀,TiN,TiSiN,多层涂层,阳极,离子源,统制,厚度比,涂层性能,面心立方,摩擦因数,掺入,减摩性能,结合强度,耐腐蚀性能,摩擦学性能
AB值：
0.145125
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