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超导转变边沿探测器梁架尺寸估算方法
文献摘要：
由于具有极低的噪声等效功率,超导转变边沿探测器(transition edge sensor,TES)近年来被广泛地应用于国际各个宇宙微波背景辐射(cosmic microwave background,CMB)极化观测项目中.为保证探测器工作在性能最佳区间,探测器饱和功率值需根据观测地点气象条件及观测波段进行调整,而探测器梁架结构尺寸直接决定了饱和功率大小.因工艺差异等原因,不同加工方案下得到的梁架尺寸参数往往不能直接用于横向比对.在之前的观测项目中,一般先加工出一系列不同尺寸器件并逐一测量,然后通过拟合实测饱和功率与梁架尺寸的关系推测实际需要尺寸.为了与目标值匹配,往往需要多次加工迭代过程.本文使用边界限制的声子输运模型,成功整合了之前观测项目中的器件参数,对TES梁架尺寸进行预估.并按照预估值首次在国内制备了用于探测CMB极化信号的TES探测器芯片.测量表明参数与目标值相差较小.该方法可以很好地对同类TES探测器尺寸进行估计,对之后TES探测器的设计有指导性意义.
文献关键词：
超导转变边沿探测器;宇宙微波背景辐射;声子输运;声子有效平均自由程
中图分类号：
作者姓名：
高冠华;徐郁;廖国福;卢方军
作者机构：
中国科学院高能物理研究所,粒子天体物理重点实验室,北京 100049;中国科学院大学,北京 100049
文献出处：
引用格式：
[1]高冠华;徐郁;廖国福;卢方军-.超导转变边沿探测器梁架尺寸估算方法)[J].物理学报,2022(15):288-298
A类：
超导转变边沿探测器,声子有效平均自由程
B类：
估算方法,transition,edge,sensor,TES,宇宙微波背景辐射,cosmic,microwave,background,CMB,观测项目,测地,气象条件,波段,梁架结构,结构尺寸,加工方案,下得,尺寸参数,不同尺寸,过拟合,目标值,声子输运,输运模型,寸进,估值,内制
AB值：
0.267647
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