典型文献
面向亚5nm图案化含硅嵌段共聚物的合成与自组装
文献摘要：
嵌段共聚物的合成及其应用是高分子科学领域的研究热点.近年来,国内外学者设计了一系列新型含硅嵌段共聚物,具有较高的Flory-Huggins相互作用参数,在自组装制备亚5 nm特征图案方面取得了重大突破,有望应用于下一代半导体制造.本文总结了聚二甲基硅氧烷基、聚含硅苯乙烯基和聚倍半硅氧烷基3种类型含硅嵌段共聚物的合成,讨论了在本体和薄膜自组装纳米图案化方面的研究进展,对相关领域存在的挑战与机遇进行了展望.
文献关键词：
含硅嵌段共聚物;自组装;纳米光刻;亚5 nm;Flory-Huggins相互作用参数
中图分类号：
作者姓名：
陶永鑫;陈蕾蕾;刘一寰;胡欣;朱宁;郭凯
作者机构：
南京工业大学生物与制药工程学院材料化学工程国家重点实验室 南京211800;南京工业大学材料科学与工程学院 南京211800
文献出处：
引用格式：
[1]陶永鑫;陈蕾蕾;刘一寰;胡欣;朱宁;郭凯-.面向亚5nm图案化含硅嵌段共聚物的合成与自组装)[J].高分子学报,2022(12):1445-1458
A类：
含硅嵌段共聚物,特征图案
B类：
5nm,图案化,自组装,高分子科学,科学领域,Flory,Huggins,相互作用参数,重大突破,下一代,半导体制造,聚二甲基硅氧烷,烷基,苯乙烯,乙烯基,聚倍半硅氧烷,挑战与机遇,纳米光刻
AB值：
0.235585
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