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嵌段共聚物薄膜快速自组装方法
文献摘要：
嵌段共聚物(BCP)薄膜可通过不同的退火方法诱导其微相分离,从而获得大面积圆柱状、层状和球状等纳米图案.这些长程有序的纳米结构形态,已经广泛应用在纳米光刻和电子器件等多个领域中.目前,有效且快速的退火方法仍然是BCP薄膜自组装技术中的研究热点.本文首先介绍了制备BCP薄膜纳米结构图案常用的退火技术,然后综述了三种新型快速退火技术,最后分析总结了这些退火技术的优缺点.
文献关键词：
快速自组装;嵌段共聚物;薄膜;退火工艺
中图分类号：
作者姓名：
刘玉玲;胡腾达;李伊莲;林洋;Redouane Borsali;廖英杰
作者机构：
上海大学材料科学与工程学院 上海200444;上海大学机电工程与自动化学院 上海200444;格勒诺布尔阿尔卑斯大学 格勒诺布尔38000
文献出处：
引用格式：
[1]刘玉玲;胡腾达;李伊莲;林洋;Redouane Borsali;廖英杰-.嵌段共聚物薄膜快速自组装方法)[J].化学进展,2022(03):609-615
A类：
B类：
嵌段共聚物,快速自组装,组装方法,BCP,微相分离,圆柱状,层状,球状,图案,长程有序,纳米结构,结构形态,纳米光刻,电子器件,自组装技术,结构图,退火工艺
AB值：
0.294792
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