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水导激光微加工机理与研究进展
文献摘要：
随着我国航空航天、微电子和医疗等领域的快速发展,组成元件逐步迈向微型化和精细化,这对零部件的切割以及微米级孔、槽等结构的加工质量和加工精度提出了更高要求.与传统的机械加工、电火花加工和电化学加工相比,激光加工可实现"非接触"加工,加工材料的适应性好、柔性大.但单一的激光加工得到的切口存在明显的锥度,且易出现热影响区、毛刺、裂纹等缺陷.水导激光加工技术利用水射流"同轴"全反射导引激光,兼具高质量和高效加工的优势,因而得到了广泛研究和应用.为对水导激光加工技术进行较为详尽的综述,本文首先讨论了水射流的形成、衰减和发散过程,然后从水的光学特性、全反射形成条件以及耦合能束传输等方面对激光-水射流耦合进行了分析,最后介绍了水导激光在金属、半导体以及复合材料等领域的应用现状,并针对现有技术的不足.对其发展趋势进行了展望.
文献关键词：
激光技术;水导激光;微加工;耦合能束;水射流;加工应用
中图分类号：
作者姓名：
王水旺;丁烨;程柏;李元;杨立军
作者机构：
哈尔滨工业大学机电工程学院,黑龙江哈尔滨150001;哈尔滨工业大学微系统与微结构制造教育部重点实验室,黑龙江哈尔滨150001
文献出处：
引用格式：
[1]王水旺;丁烨;程柏;李元;杨立军-.水导激光微加工机理与研究进展)[J].中国激光,2022(10):58-77
A类：
耦合能束
B类：
激光微加工,加工机理,国航,航空航天,微电子,微型化,零部件,微米级,加工质量,加工精度,机械加工,电火花加工,电化学加工,非接触,加工材料,锥度,热影响区,毛刺,水导激光加工,激光加工技术,水射流,同轴,全反射,导引,高效加工,研究和应用,详尽,先讨,发散,光学特性,形成条件,束传输,现有技术,激光技术,加工应用
AB值：
0.36522
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