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非线性激光制造的进展与应用
文献摘要：
超快激光是指脉冲宽度极窄的激光，其瞬时功率极高，与物质之间的相互作用呈现出非线性、非平衡、多尺度的状态。超快激光具有超快（脉冲持续时间短）、超强（瞬时功率高）、超精细（加工结构精细）等特点，由此实现的非线性激光制造技术可以打破传统微纳制造的局限，实现各类难加工材料和复杂微纳结构的超精细制造，精度可达亚微米至纳米量级，在微光学、生物医学、智能电子器件等前沿领域体现出了独特的应用价值。文中主要聚焦飞秒激光微纳加工技术前沿，简要概括了飞秒激光加工的特点；介绍了飞秒激光加工的主要技术手段，包括飞秒激光直写和飞秒激光并行加工；讨论了飞秒激光加工技术的前沿应用领域，如微纳光学器件、微流体器件、多功能结构化表面、生物医学工程等；最后，对飞秒激光加工制造技术未来的发展趋势和研究方向进行展望。
文献关键词：
超快激光;飞秒激光;非线性相互作用;微纳制造;三维加工
中图分类号：
作者姓名：
刘雨晴;孙洪波
作者机构：
清华大学 精密仪器系 精密测试技术及仪器国家重点实验室，北京 100084
文献出处：
引用格式：
[1]刘雨晴;孙洪波-.非线性激光制造的进展与应用)[J].红外与激光工程,2022(01):
A类：
B类：
激光制造,超快激光,光是,脉冲宽度,极窄,瞬时功率,非平衡,超强,超精,制造技术,微纳制造,难加工材料,微纳结构,达亚,亚微米,微光,电子器件,前沿领域,激光微纳加工,微纳加工技术,技术前沿,飞秒激光加工,主要技术,飞秒激光直写,激光加工技术,微纳光学器件,微流体,功能结构,结构化表面,生物医学工程,加工制造,非线性相互作用,三维加工
AB值：
0.337631
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