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飞秒激光刻蚀石英工艺研究
文献摘要：
为了探究石英晶体飞秒激光刻蚀工艺,本文使用波长为1030 nm、重复频率20 kHz、脉冲宽度290 fs的飞秒激光系统研究了飞秒激光参数、定焦点与变焦点扫描以及飞秒激光裂片技术对刻蚀石英材料的影响.首先研究了飞秒激光扫描次数、扫描速度及离焦量对刻蚀石英微槽的影响规律.其次对比分析了定焦点扫描与变焦点扫描对微槽形貌的影响,最后研究了飞秒激光裂片石英材料技术.研究表明,在激光单脉冲能量为60μJ,扫描速度4 mm/s,扫描次数为50条件下获得槽宽为32μm,深宽比达2.2的石英微槽;相较于定焦点扫描,变焦点扫描时微槽侧壁趋近于直壁状态,微槽壁面角从56°降低至34°;当扫描次数增加到一定程度时会在微槽底部诱导裂纹的产生,微裂纹进一步扩展形成切面,裂纹扩展区切面质量明显高于飞秒激光烧蚀区.
文献关键词：
飞秒激光;微加工工艺;石英晶片;飞秒激光裂片;变焦点扫描
中图分类号：
作者姓名：
何魁魁;周广福;戴玉堂
作者机构：
武汉理工大学 光纤传感技术国家工程实验室,湖北 武汉430070;歌尔股份有限公司,山东 潍坊261031
文献出处：
引用格式：
[1]何魁魁;周广福;戴玉堂-.飞秒激光刻蚀石英工艺研究)[J].激光与红外,2022(12):1768-1773
A类：
变焦点扫描,飞秒激光裂片,石英微槽
B类：
激光刻蚀,刻蚀工艺,重复频率,kHz,脉冲宽度,fs,激光系统,激光参数,石英材料,先研,激光扫描,扫描次数,扫描速度,离焦量,槽形,片石,材料技术,单脉冲能量,深宽比,比达,侧壁,趋近,槽壁,壁面,面角,微裂纹,切面,裂纹扩展,展区,飞秒激光烧蚀,微加工工艺,石英晶片
AB值：
0.253
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