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典型文献
多层碳键联石墨烯涂层的宏观摩擦磨损特性
文献摘要:
石墨烯作为固体润滑剂具有重要应用价值,但目前宏观载荷下多层石墨烯涂层对微机电系统硅材料器件的保护作用尚待进一步探索.利用线性往复摩擦试验机,对硅基底上厚度约为230 nm的多层碳键联石墨烯(CBG)涂层进行常温高接触应力条件下的宏观摩擦磨损特性分析.试验结果发现:CBG涂层显著降低了硅片表面的摩擦因数以及磨损程度.当载荷从1 N(约551MPa)增加至5N(约942 MPa),摩擦因数均稳定在0.12~0.18.进一步,在5 N大载荷作用下的18 000次往复摩擦中,摩擦因数仍基本维持在0.2以下,最低磨损率约为5.0×10-7 mm3/(N·m),有效验证了 CBG涂层优异的宏观摩擦磨损性能.CBG涂层上出现的块状碎片、剥离坑和连续划痕是磨损退化的基本缺陷形式,较高接触应力下磨损颗粒产生的犁削行为可能是涂层被逐渐剥落的主要原因.研究成果表明CBG涂层在宏观载荷下具有优异的减摩耐磨性能,可以揭示涂层的磨损过程和破坏机理.
文献关键词:
碳键联石墨烯涂层;摩擦磨损;磨损颗粒;划痕
作者姓名:
王彬;周剑;祝宸宇;李莉华;叶家鑫;刘小君;刘焜
作者机构:
合肥工业大学机械工程学院 合肥 230009;深圳技术大学中德智能制造学院 深圳 518000
文献出处:
引用格式:
[1]王彬;周剑;祝宸宇;李莉华;叶家鑫;刘小君;刘焜-.多层碳键联石墨烯涂层的宏观摩擦磨损特性)[J].中国表面工程,2022(06):161-170
A类:
碳键联石墨烯涂层,CBG,551MPa,连续划痕
B类:
观摩,摩擦磨损特性,固体润滑剂,重要应用,多层石墨烯,微机电系统,硅材料,料器,尚待,往复摩擦,摩擦试验,试验机,硅基底,层进,接触应力,应力条件,硅片,摩擦因数,磨损程度,5N,磨损率,mm3,有效验证,摩擦磨损性能,块状,磨损颗粒,剥落,减摩耐磨,耐磨性能,磨损过程,破坏机理
AB值:
0.269444
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