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微法布里-珀罗腔可调谐滤波器的研究进展
文献摘要：
红外光谱检测是一种可靠稳定的分析方法,微机电系统(MEMS)法布里-珀罗(F-P)可调谐滤波器是红外光谱仪、手机摄像头、便携式高光谱成像仪和遥感仪等仪器的核心器件.传统红外分析系统和光谱仪的体积大、功耗高且价格昂贵,很难应用到小型化器件中.相比传统类型的滤波器,MEMS F-P可调谐滤波器具有尺寸小、分辨率高、易于集成和功耗低等优势.综述了近年来MEMS F-P可调谐滤波器在国内外的研究进展,讨论了其波长调谐范围、光谱分辨率、孔径大小以及制造的复杂性和成本等,并展望了 MEMS F-P滤波器未来的发展趋势和应用前景,为MEMS F-P可调谐滤波器的研究提供了参考.
文献关键词：
光学器件;微机电系统;法布里-珀罗腔;可调谐滤波器;红外
中图分类号：
作者姓名：
黄新;蒙庆华;张克智;何馥娴;卢旭恒;王瑞扬;唐柳;吴哲锋
作者机构：
南宁师范大学物理与电子学院,广西南宁530299
文献出处：
引用格式：
[1]黄新;蒙庆华;张克智;何馥娴;卢旭恒;王瑞扬;唐柳;吴哲锋-.微法布里-珀罗腔可调谐滤波器的研究进展)[J].激光与光电子学进展,2022(11):73-85
A类：
B类：
微法,法布里,可调谐滤波器,光谱检测,可靠稳定,微机电系统,MEMS,红外光谱仪,手机摄像头,便携式,高光谱成像仪,红外分析,功耗,价格昂贵,小型化,化器,分辨率高,波长调谐,调谐范围,光谱分辨率,孔径大小,光学器件
AB值：
0.239247
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