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典型文献
激光微纳连接技术研究进展
文献摘要:
激光微纳连接技术是实现微纳米结构、电子元器件批量化生产的基础,是微纳制造领域的关键技术.在简要介绍微纳连接技术的应用需求和主要技术方法的基础上,重点对微纳尺度的激光连接技术进行了分析和论述.首先介绍了激光连接技术的尺寸范围,然后根据其工艺特性的不同选取三种典型的激光微纳连接技术,即激光微焊接,微纳尺度的激光软钎焊和激光植球,分别论述该三种技术的加工原理及特点、工艺参数和应用现状.通过对激光微纳连接技术工艺参数的研究和应用现状的总结,探讨激光微纳连接技术在航空航天、微电子封装、医疗器件等领域的重要应用,并对激光微纳连接技术的发展方向和未来研究工作进行了总结.
文献关键词:
激光光学;激光微纳连接;激光微焊接;激光软钎焊;激光植球
作者姓名:
张丽丽;孙树峰;王茜;张丰云;王萍萍;曹成铭;张子宾
作者机构:
青岛理工大学机械与汽车工程学院,山东青岛266520;山东省激光绿色高效智能制造工程技术研究中心,山东青岛266520;中国矿业大学机电工程学院,江苏徐州221116;山东能源重装集团恒图科技有限公司,山东泰安271222;青岛国骐光电科技有限公司,山东青岛266109
引用格式:
[1]张丽丽;孙树峰;王茜;张丰云;王萍萍;曹成铭;张子宾-.激光微纳连接技术研究进展)[J].激光与光电子学进展,2022(03):22-39
A类:
激光微纳连接,激光软钎焊,激光植球
B类:
连接技术,微纳米结构,电子元器件,微纳制造,制造领域,应用需求,主要技术,微纳尺度,激光连接,工艺特性,激光微焊接,别论,加工原理,原理及特点,技术工艺,研究和应用,航空航天,微电子封装,重要应用,激光光学
AB值:
0.182453
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