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环氧树脂灌封器件电镀前处理工艺改进
文献摘要：
针对环氧灌封器件表面镀层结合力差的问题,在镀前对环氧树脂灌封体进行喷砂,并将铬酸酐?硫酸体系化学粗化改为等离子粗化.采用改进的前处理工艺后,环氧树脂灌封体表面的镀层厚度、结合力及可靠性均满足宇航型号产品的使用要求.
文献关键词：
环氧树脂灌封体;电镀;预处理;喷砂;粗化;结合力;可靠性
中图分类号：
作者姓名：
顾毅欣;朱晓敏;王超;雷雨辰;陈慧贤
作者机构：
西安微电子技术研究所,陕西 西安 710119
文献出处：
引用格式：
[1]顾毅欣;朱晓敏;王超;雷雨辰;陈慧贤-.环氧树脂灌封器件电镀前处理工艺改进)[J].电镀与涂饰,2022(01):41-46
A类：
环氧树脂灌封体,铬酸酐,化学粗化
B类：
电镀,镀前处理,处理工艺,工艺改进,表面镀层,结合力,喷砂,硫酸体系,镀层厚度,宇航,型号产品,使用要求
AB值：
0.232708
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