典型文献
第二十一讲真空卷绕镀膜
文献摘要：
(接2022年第5期104页)
感应蒸发源可视为小平面源,其对于平行平面的基体蒸发如图35所示.设基体宽度为B ,蒸发源的数目为 N,蒸距为 H,最边缘的蒸发源中心法线至基体边缘的距离为a,则各蒸发源之间的距离C应为C=B-2a/N-1(7).
文献关键词：
中图分类号：
作者姓名：
张以忱
作者机构：
东北大学,辽宁 沈阳 110004
文献出处：
引用格式：
[1]张以忱-.第二十一讲真空卷绕镀膜)[J].真空,2022(06):93-96
A类：
B类：
第二十一,卷绕,镀膜,发源,小平面,面源,所示,体宽,心法,法线,2a
AB值：
0.474425
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