典型文献
砷化镓单晶线性孪晶长度判断方法研究
文献摘要:
本文研究线性孪晶在晶体中的生长存在规律性,根据几何关系的换算则可以计算出M-Twin需要切割的砷化镓单晶长度.实验验证利用理论公式计算晶棒的M-Twin长度与实际M-Twin切除长度接近,证明该计算方法可以判断砷化镓线性孪晶的长度,可以减少因人为误判而造成的浪费.
文献关键词:
线性孪晶;砷化镓单晶;长度判断
中图分类号:
作者姓名:
王金灵;刘火阳
作者机构:
广东先导微电子科技有限公司 广东 清远 511517;国家稀散金属工程技术研究中心 广东 清远 511517;广东先导稀材股份有限公司 广东 清远 511517
文献出处:
引用格式:
[1]王金灵;刘火阳-.砷化镓单晶线性孪晶长度判断方法研究)[J].信息记录材料,2022(12):36-38
A类:
线性孪晶
B类:
砷化镓单晶,长度判断,判断方法,长存,几何关系,换算,Twin,理论公式,公式计算,晶棒,因人,误判
AB值:
0.268435
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