典型文献
化学气相沉积炉用气体预热装置优化设计
文献摘要：
为提高化学气相沉积炉气体预热装置的预热效率,降低其在炉内反应区的占用空间,提高产品装料量,在现有圆筒式预热装置结构的基础上进行了优化改进,通过改变气体流动方式,达到充分混合预热的目的,并且使气体流通路径长度延长约50％,热辐射面积提高1倍以上.仿真结果表明:综合预热效率较改进前提高了2倍以上.同时,在预热效率相当的情况下,改进后的圆筒式预热装置比多孔板叠加式预热装置节省约20％的装料空间.
文献关键词：
预热装置;路径;热辐射
中图分类号：
作者姓名：
施伟伟;董一巍;李明;龚雨晗;王晓燕;张钰莹;颜伊靖
作者机构：
西安航空制动科技有限公司,陕西兴平713100;厦门大学航空航天学院,福建厦门361005
文献出处：
引用格式：
[1]施伟伟;董一巍;李明;龚雨晗;王晓燕;张钰莹;颜伊靖-.化学气相沉积炉用气体预热装置优化设计)[J].中国工程机械学报,2022(05):430-433
A类：
B类：
化学气相沉积,预热装置,装置优化,炉气,热效率,反应区,装料,料量,圆筒,筒式,优化改进,流动方式,路径长,热辐射,辐射面,进前,多孔板
AB值：
0.305159
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