典型文献
激光干涉测量系统非结构性误差的分析与补偿
文献摘要：
介绍了测量系统中双频激光干涉仪的测量原理.针对测量系统精度要求高的特点,深入分析了环境及安装因素对测量结果的影响,尤其是激光波长、镜面面形、数据延迟、反射镜安装非正交等4种干涉仪非结构性误差,研究各种误差对测量结果的影响,并给出相应的误差补偿方法.结果表明,这些补偿方法有效地消除了环境及安装误差对整个测量系统的影响.
文献关键词：
激光干涉测量;非结构性误差分析;误差补偿
中图分类号：
作者姓名：
付纯鹤;连军莉;崔莉
作者机构：
中国电子科技集团公司第四十五研究所, 北京 100176
文献出处：
引用格式：
[1]付纯鹤;连军莉;崔莉-.激光干涉测量系统非结构性误差的分析与补偿)[J].电子工业专用设备,2022(06):53-57
A类：
非结构性误差分析
B类：
激光干涉测量,测量系统,双频激光干涉仪,测量原理,系统精度,精度要求,激光波长,镜面,数据延迟,反射镜,非正交,误差补偿,补偿方法,安装误差
AB值：
0.315275
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