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三坐标测量机空间几何误差分区域检测方法研究
文献摘要：
为了提高三坐标测量机空间几何误差检测精度，增强三坐标测量机的使用性能，本文提出三坐标测量机空间几何误差分区域检测方法。通过三坐标测量机运动学模型获取导轨运动轨迹，基于逐次二点法分离导轨直线度，通过桥架振动变形公式获取直线度运动误差传递路径，利用最小二乘法基于传感器测头高度误差构建导轨直线度运动误差数学模型；选取二维激光干涉仪与四象限硅光电池实现空间几何误差分区域检测。实验结果表明，本文所提方法 15 个测量点的检测结果与实际数据平均差值为 0.029μm，证明本文方法的检测精度较高。
文献关键词：
三坐标测量机;空间几何误差;分区域检测;检测方法;直线度运动误差
中图分类号：
作者姓名：
卓军
作者机构：
上海萨斐测量技术有限公司 上海 201515
文献出处：
引用格式：
[1]卓军-.三坐标测量机空间几何误差分区域检测方法研究)[J].中国机械,2022(31):27-30
A类：
分区域检测,直线度运动误差
B类：
三坐标测量机,空间几何误差,高三,误差检测,检测精度,使用性能,机运,运动学模型,导轨,运动轨迹,逐次,二点,过桥,桥架,动变形,变形公式,误差传递,传递路径,测头,差数,激光干涉仪,四象限,硅光电池,测量点,实际数据,平均差
AB值：
0.18051
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