典型文献
超纯氮气纯化器的稳定性因素分析
文献摘要：
阐述氮气纯化器为多部份组成设备,对每一组成部分定期维护可提前发现问题,对特定的组成部分做定期保养可降低该组成单元的故障率,提高氮气纯化器的稳定性.
文献关键词：
氮气纯化器;稳定因素;温控系统
中图分类号：
作者姓名：
刘松青;刘君伟;李文豪;霍金虎;赵冰
作者机构：
大连华邦化学有限公司,辽宁 116085
文献出处：
引用格式：
[1]刘松青;刘君伟;李文豪;霍金虎;赵冰-.超纯氮气纯化器的稳定性因素分析)[J].集成电路应用,2022(02):42-43
A类：
氮气纯化器
B类：
超纯,稳定性因素,部份,定期维护,发现问题,分做,保养,该组,成单,故障率,稳定因素,温控系统
AB值：
0.29189
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