典型文献
应急电源系统在芯片制造工厂中的应用
文献摘要：
结合半导体芯片产业的发展现状,介绍了芯片制造的主要工艺流程和电网干扰对芯片制造工厂的影响.重点对应急电源进行分类与比较,并就应急电源在芯片工厂的应用给出工程实例,给广大工程技术人员在进行芯片厂房建厂时,提供了新的解决方案.
文献关键词：
芯片制造;应急电源;不间断供电方案
中图分类号：
作者姓名：
石贵春
作者机构：
合肥长鑫集成电路有限责任公司,安徽合肥241000
文献出处：
引用格式：
[1]石贵春-.应急电源系统在芯片制造工厂中的应用)[J].通信电源技术,2022(08):41-43,47
A类：
不间断供电方案
B类：
应急电源,电源系统,芯片制造,制造工厂,半导体芯片,芯片产业,主要工艺,出工,工程实例,大工程,工程技术人员,厂房,房建,建厂
AB值：
0.280334
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