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高精密清洗技术在OLED制备过程中的应用
文献摘要：
在OLED生产过程中,需要多次使用到清洗工艺,清洗后基板的洁净度将决定OLED的良率.随着OLED显示屏行业的发展,对清洗工艺及设备的要求越来越严格,制造过程的清洗皆为精密清洗,为了达到良好的清洗效果,必须不断提高洁净技术.
文献关键词：
OLED;高精密清洗;清洗方法
中图分类号：
作者姓名：
施利君;胡磊
作者机构：
苏州晶洲装备科技有限公司,江苏苏州,215000
文献出处：
引用格式：
[1]施利君;胡磊-.高精密清洗技术在OLED制备过程中的应用)[J].中国洗涤用品工业,2022(12):75-79
A类：
高精密清洗
B类：
清洗技术,OLED,制备过程,清洗工艺,洗后,基板,洁净度,良率,显示屏,制造过程,清洗效果,高洁,洁净技术,清洗方法
AB值：
0.39364
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