典型文献
吸附法精制电子特气全氟丁二烯
文献摘要：
全氟丁二烯(六氟丁二烯,六氟-1,3-丁二烯,C4 F6,HFBD)是一种性能优异的新一代电子工业用蚀刻气,应用前景广阔.HFBD的合成工艺多样,基本上都是采用偶联法、脱卤法和格氏试剂法.原料中含有的主要杂质除氮气(N2)、氧气(O2)等不凝性气体能用精馏法轻松脱除外,其它的杂质均可以用吸附法脱除.通过使用沸石类分子筛、活性氧化铝、碳分子筛、硅铝酸盐分子筛、碱盐等进行吸附实验,能将HFBD产品中的氟化氢(HF)、水分(H2 O)、含有丁二烯的氟氯化物、丁烯的二聚体、少量的醇及醚等杂质均脱除到符合电子特气出货标准.实验结果表明,大部分吸附剂会引发不同程度的歧化反应,精制难度较大,故选用碱盐分子筛脱除HF,硅铝酸盐分子筛脱除醚,5 A分子筛脱除其余杂质.
文献关键词：
全氟丁二烯;六氟丁二烯;六氟-1;3-丁二烯;HFBD;吸附;蚀刻
中图分类号：
作者姓名：
袁淑筠;禹金龙;韦杰广
作者机构：
广东华特气体股份有限公司,广东 佛山528241
文献出处：
引用格式：
[1]袁淑筠;禹金龙;韦杰广-.吸附法精制电子特气全氟丁二烯)[J].低温与特气,2022(01):34-37
A类：
全氟丁二烯,六氟丁二烯,HFBD
B类：
吸附法,精制,电子特气,C4,F6,种性,代电,电子工业,工业用,蚀刻,合成工艺,基本上,偶联,脱卤,格氏试剂,氮气,N2,O2,不凝性气体,精馏法,轻松,松脱,脱除,除外,沸石,活性氧化铝,碳分子筛,硅铝,铝酸盐,盐分,吸附实验,氟化氢,H2,氯化物,丁烯,二聚体,出货,吸附剂,发不,歧化反应
AB值：
0.357192
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