典型文献
芯片缓冲氧化物蚀刻废液制备氟化氢研究
文献摘要：
为了将芯片制造行业中属于危废的缓冲氧化物蚀刻液(BOE)废液资源化利用,研究了双极膜电渗析法处理BOE废液的工艺方法.结果表明,在溶液氟化铵的质量分数12.9％的情况下,产质量浓度60 g/L的氢氟酸时,双极膜的酸室电流效率约为75％,相当于氟化氢产品的双极膜电耗约为4.3～4.5 MW·h/t;碱室电流效率约为68％,相当于氢氧化钾产品的双极膜电耗约为1.6～1.8 MW·h/t.实现了将BOE废液直接转化成具有经济效益的氢氟酸与对应的碱,其经济和环保效益显著.
文献关键词：
芯片制造废酸;BOE废液;双极膜电渗析法
中图分类号：
作者姓名：
闻涛;刘心语;周贞锋
作者机构：
衢州市鼎盛化工科技有限公司,浙江 衢州 324000;杭州蓝然技术股份有限公司,杭州 310000
文献出处：
引用格式：
[1]闻涛;刘心语;周贞锋-.芯片缓冲氧化物蚀刻废液制备氟化氢研究)[J].化工生产与技术,2022(04):7-9,45
A类：
芯片制造废酸
B类：
蚀刻废液,氟化氢,制造行业,危废,蚀刻液,BOE,资源化利用,双极膜电渗析法,工艺方法,产质量,氢氟酸,电流效率,相当于,电耗,MW,氢氧化钾,接转,转化成,环保效益
AB值：
0.22847
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