典型文献
太阳能硅片清洗剂的研究与配方设计
文献摘要:
太阳能硅片在金刚线切割和打磨过程中会受到严重沾污,需要采用物理或化学方法去除其表面的污染物,以符合洁净度和表面状态的要求.为了减少对硅片的过度腐蚀以及保持硅片清洗工作液的持久性,通过正交试验,确定了表面活性剂A组分和碱剂B组分的最佳配比.表面活性剂A组分的最佳配比为:乙二胺二邻苯基乙酸钠、PO嵌段FMEE、FMES、伯烷基磺酸钠(PAS)和烷基糖苷(APG)的质量比为7:8:3:5:3.碱剂B组分的最佳配比为:氢氧化钾、氢氧化钠、偏硅酸钠和碳酸钠的质量比为3:1:2:2.以A组分和B组分组成的硅片清洗剂环保、无磷、碱性适中,清洗时间短,对硅粉和金属氧化膜去除效果好,洗后的硅片表面光滑无凹坑、线痕等现象.
文献关键词:
硅片;清洗剂;复配;腐蚀;耐久性
中图分类号:
作者姓名:
王成信
作者机构:
上海喜赫精细化工有限公司,上海 201620
文献出处:
引用格式:
[1]王成信-.太阳能硅片清洗剂的研究与配方设计)[J].浙江化工,2022(08):9-12,25
A类:
太阳能硅片
B类:
清洗剂,配方设计,金刚线,线切割,打磨,沾污,化学方法,洁净度,表面状态,工作液,持久性,表面活性剂,最佳配比,乙二胺,苯基,乙酸钠,PO,嵌段,FMEE,FMES,磺酸钠,PAS,烷基糖苷,APG,氢氧化钾,氢氧化钠,偏硅酸钠,碳酸钠,无磷,适中,清洗时间,硅粉,氧化膜,去除效果,洗后,表面光,凹坑,复配,耐久性
AB值:
0.404839
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