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单晶硅表面微结构纳秒脉冲激光加工研究
文献摘要：
以单晶硅为对象,使用波长355 nm、脉宽15 ns的纳秒激光对单晶硅进行烧蚀加工试验研究.基于单因素法设计并完成了单晶硅纳秒脉冲激光直线刻蚀试验,探究了激光输出功率、激光脉冲重复频率、激光扫描速度和扫描次数对纳秒脉冲激光加工单晶硅表面形貌的影响规律.基于优化的加工工艺参数,在单晶硅表面制备出方形阵列的微结构.
文献关键词：
纳秒脉冲激光;单晶硅;微结构;参数优选
中图分类号：
作者姓名：
储成龙;汪奇文;张振;张全利
作者机构：
南京航空航天大学,江苏 南京210016
文献出处：
引用格式：
[1]储成龙;汪奇文;张振;张全利-.单晶硅表面微结构纳秒脉冲激光加工研究)[J].机械制造与自动化,2022(01):23-26
A类：
B类：
单晶硅,表面微结构,纳秒脉冲激光,激光加工,加工研究,脉宽,ns,纳秒激光,烧蚀,单因素法,线刻,刻蚀,激光输出功率,激光脉冲,脉冲重复频率,激光扫描,扫描速度,扫描次数,工单,表面形貌,加工工艺,表面制备,方形,参数优选
AB值：
0.261837
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