典型文献
超快激光直写PDMS微流道的工艺研究
文献摘要：
采用皮秒激光技术在聚二甲基硅氧烷(PDM S)基片表面制备微流道,分析了扫描速度、加工次数以及激光平均功率对微流道的影响规律,并对工艺参数进行了优化.实验表明:在保证扫描次数不变的情况下,微流道深度和宽度随着扫描速度的增加而减小;当扫描速度为定值时,微流道的深度和宽度会因为扫描次数的增加而增大.同时,测试了填充方式对微流道表面粗糙度的影响.在优化工艺参数的基础上,制备了尺寸精度高、深宽比和表面粗糙度可控的微流道.最后,通过等离子体键合的方式,制备了微流控器件,验证了超快激光直写PDM S微流道的工艺的可靠性.
文献关键词：
皮秒激光;微流道;表面粗糙度;激光刻蚀;等离子键合;PDMS
中图分类号：
作者姓名：
张彦军;曹明轩;臧鲁浩;王颖;何国豪;高一伟;任政
作者机构：
五邑大学智能制造学部,广东江门529000
文献出处：
引用格式：
[1]张彦军;曹明轩;臧鲁浩;王颖;何国豪;高一伟;任政-.超快激光直写PDMS微流道的工艺研究)[J].新技术新工艺,2022(04):23-30
A类：
超快激光直写,等离子键合
B类：
PDMS,微流道,皮秒激光,激光技术,聚二甲基硅氧烷,基片,表面制备,扫描速度,平均功率,扫描次数,表面粗糙度,优化工艺,尺寸精度,深宽比,微流控,激光刻蚀
AB值：
0.176846
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