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β-环糊精制备光刻胶成膜树脂及性能研究
文献摘要：
光刻胶作为芯片的核心材料,对微电子技术的快速发展起着至关重要的作用,成膜树脂作为光刻胶的骨架组分,直接影响光刻胶的性能.本研究利用β-环糊精代替传统光刻胶中的化学成分,与二碳酸二叔丁酯合成制备环境友好型的t-BOC-β-环糊精成膜树脂.利用红外、1H NMR、TG、XRD等先进仪器对其结构和性能进行分析表征,研究结果表明,在温度35℃、反应时间5h、β-环糊精与二碳酸二叔丁酯摩尔比为1:10.5时,t-BOC基团在β-环糊精上取代度最高为16,制得的t-BOC-β-环糊精成膜树脂具有优异的耐热性和成膜性能,在190～195nm以外的紫外波长部分光透性非常好,经显影液浸泡后留膜率仅有2％.除此之外,β-环糊精分子量小,可以有效提高光刻胶分辨率,可用于制成248nm的高分辨率光刻胶产品.
文献关键词：
成膜树脂;β-环糊精;二碳酸二叔丁酯;分子玻璃
中图分类号：
作者姓名：
杨舒雅;杨淑娟;梁福根;杨飞;张勇
作者机构：
浙江理工大学 先进纺织材料与制备技术教育部重点实验室,浙江 杭州 310018;浙江传化华洋化工有限公司,浙江 杭州 311231;浙江宇博新材料有限公司,浙江 台州 318000
文献出处：
引用格式：
[1]杨舒雅;杨淑娟;梁福根;杨飞;张勇-.β-环糊精制备光刻胶成膜树脂及性能研究)[J].化学工程师,2022(07):1-6
A类：
195nm,248nm,分子玻璃
B类：
环糊精,精制,光刻胶,成膜树脂,核心材料,微电子技术,研究利用,二碳酸二叔丁酯,酯合成,合成制备,环境友好型,BOC,1H,NMR,结构和性能,分析表征,5h,摩尔比,基团,取代度,耐热性,成膜性能,显影液,除此之外,分子量
AB值：
0.227034
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