典型文献
飞秒激光直写制备LIG/RuO2复合电极
文献摘要：
基于聚酰亚胺(polyimide,PI)膜的激光诱导石墨烯(laser-induced graphene,LIG)电极因其制备简单、可扩展性强等优势而逐渐得到了广泛的关注,但较低的能量密度限制了它的进一步应用.为了提升LIG电极的电化学性能,首先研究了激光功率和扫描速度对PI膜碳化效果的影响.在此基础上,在PI膜表面喷涂RuCl3晶体,通过飞秒激光直写技术制备指间距为20μm的LIG/RuO2复合电极,组装了超级电容器,并对电极微纳结构以及元素成分进行了表征分析.在10 mV/s的电压扫描速率下,LIG/RuO2超级电容器的面积容量为4.9 mF/cm2,是LIG超级电容器的4.85倍,同时具有良好的能量密度(在0.1 mA/cm2的电流密度下为0.173μW·h/cm2).研究结果表明,飞秒激光直写技术可以实现LIG/RuO2复合电极的灵活和可扩展制备,在微电子器件以及可穿戴电子设备领域有广阔的应用前景.
文献关键词：
激光制造;飞秒激光直写;激光诱导石墨烯;RuO2;超级电容器
中图分类号：
作者姓名：
王联甫;管延超;丁烨;李靖怡;杨立军
作者机构：
哈尔滨工业大学微系统与微结构制造教育部重点实验室,黑龙江哈尔滨150001
文献出处：
引用格式：
[1]王联甫;管延超;丁烨;李靖怡;杨立军-.飞秒激光直写制备LIG/RuO2复合电极)[J].中国激光,2022(16):146-154
A类：
激光诱导石墨烯
B类：
LIG,RuO2,复合电极,聚酰亚胺,polyimide,laser,induced,graphene,可扩展性,扩展性强,渐得,能量密度,电化学性能,先研,激光功率,扫描速度,喷涂,RuCl3,飞秒激光直写技术,指间,超级电容器,对电极,极微,微纳结构,元素成分,表征分析,mV,扫描速率,mF,mA,电流密度,下为,微电子器件,可穿戴电子设备,激光制造
AB值：
0.252679
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