典型文献
长焦深连续立方相位板的飞秒激光加工与性能测试
文献摘要：
传统的长焦深光束生成器件,诸如空间光调制器和正负透镜组合,存在光学元件尺寸较大、难以与微纳光学系统集成等问题,发展一种长焦深光束生成方法并制备一种结构简单、尺寸紧凑且成像质量良好的长焦深光束器件尤为重要.提出了一种利用连续立方相位板调制来产生长焦深光束的方法,通过飞秒激光直写技术制备了高尺寸精度(直径为108μm,高1.1μm)的相位板,实现了可调控的焦距长度(50～150μm)和焦深(100～600μm),并且对相位板进行光学测试,展示了其长聚焦能力和成像能力.该器件可用于高性能集成光学系统、微纳光学制造等领域.
文献关键词：
飞秒激光加工;长焦深光束;相位板;光学仿真;光学测试
中图分类号：
作者姓名：
李鹏举;潘登;刘顺利
作者机构：
中国科学技术大学工程科学学院,安徽合肥230031
文献出处：
引用格式：
[1]李鹏举;潘登;刘顺利-.长焦深连续立方相位板的飞秒激光加工与性能测试)[J].光学精密工程,2022(17):2088-2093
A类：
长焦深光束
B类：
方相,相位板,飞秒激光加工,生成器,空间光调制器,正负,透镜,光学元件,微纳光学,光学系统,系统集成,生成方法,结构简单,紧凑,成像质量,飞秒激光直写技术,尺寸精度,可调控,焦距,光学测试,性能集成,集成光学,光学制造,光学仿真
AB值：
0.23335
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