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飞秒激光时空整形的电子动态调控微孔加工
文献摘要：
微孔作为一种常见结构,被广泛应用于生物医疗、航空航天、三维封装等领域.飞秒激光具有的超短脉冲持续时间和超高峰值功率特性使其在高质量微孔加工方面具有独特优势.本文综述了近年来飞秒激光时空整形微孔加工方法及其应用,包括飞秒激光时空整形方法、时域/空域整形的电子动态调控微孔加工以及微孔在增透减反、切割以及油水分离、雾气收集、气体收集等方面的应用,并讨论了时空整形飞秒激光微孔加工目前所面临的挑战和未来研究方向.
文献关键词：
飞秒激光;电子动态调控;微孔加工;时空整形;微孔应用
中图分类号：
作者姓名：
张超;李敏;叶柏臣;吴剑英;王智;李晓炜
作者机构：
北京理工大学机械与车辆学院激光微纳制造研究所,北京 100081
文献出处：
引用格式：
[1]张超;李敏;叶柏臣;吴剑英;王智;李晓炜-.飞秒激光时空整形的电子动态调控微孔加工)[J].光电工程,2022(02):30-43
A类：
时空整形,电子动态调控,微孔应用
B类：
飞秒激光,微孔加工,常见结构,生物医疗,航空航天,三维封装,超短脉冲,高峰值功率,功率特性,加工方法,空域,增透,油水分离,雾气,气体收集,未来研究方向
AB值：
0.197125
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