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飞秒贝塞尔光束直写铌酸锂高深径比光子晶体结构
文献摘要：
具有深微孔结构的铌酸锂晶体可以成为具有优良光波选择性调制功能的光子晶体器件.然而,目前使用的聚焦离子束刻蚀、化学刻蚀或常规激光制孔等方法很难获得光子晶体所需的高深径比微孔.本文基于飞秒脉冲高峰值功率、超短脉宽的基本特点,通过对光束进行贝塞尔整形以及对光束与铌酸锂晶体的相互作用进行调控和研究,用飞秒单脉冲在铌酸锂晶体内部一步制备出深径比约为700:1的大面积均匀微孔阵列.测试结果表明,设计并制备的高深径比微孔阵列光子晶体结构对450～510 nm波长范围内的光束具有明显的选择透过性.
文献关键词：
激光技术;超快激光;贝塞尔光束;铌酸锂;深径比;光子晶体
中图分类号：
作者姓名：
孙伟高;季凌飞;郑锦灿;温亚楠;王冠强
作者机构：
北京工业大学材料与制造学部激光工程研究院,北京100124;北京工业大学跨尺度激光成型制造技术教育部重点实验室,北京100124
文献出处：
引用格式：
[1]孙伟高;季凌飞;郑锦灿;温亚楠;王冠强-.飞秒贝塞尔光束直写铌酸锂高深径比光子晶体结构)[J].中国激光,2022(10):143-151
A类：
B类：
贝塞尔光束,直写,高深径比,光子晶体,晶体结构,微孔结构,铌酸锂晶体,光波,聚焦离子束,离子束刻蚀,化学刻蚀,激光制孔,飞秒脉冲,高峰值功率,超短,脉宽,基本特点,整形,单脉冲,微孔阵列,选择透过性,激光技术,超快激光
AB值：
0.281577
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