典型文献
差动光谱共焦式玻璃基板平面度误差测量系统开发与实践
文献摘要：
以玻璃基板平面度误差检测为应用场景,研发了一种差动光谱共焦式平面度误差测量系统.依据仪器设计原则和工程任务,完成了测量系统误差分析和精度设计,确定玻璃基板平面度误差测量系统测量原理和总体方案,并完成测量系统设计,包括机械结构、控制系统和系统软件等.在标准环境条件(温度20℃,相对湿度65％)下,分别以二级平板和玻璃基板为被测对象,开展系统结构和精度验证实验;平面度误差分别为10.41μm和4.20μm.测试结果表明,该系统能够准确地对玻璃基板平面度误差进行检测,且测量精度得到提高.
文献关键词：
平面度误差;测量系统;玻璃基板
中图分类号：
作者姓名：
闫勇刚;黄俊杰;张登攀;王耿;朱小平;刘志浩
作者机构：
河南理工大学机械与动力工程学院,河南焦作454003;中国计量科学研究院,北京100029
文献出处：
引用格式：
[1]闫勇刚;黄俊杰;张登攀;王耿;朱小平;刘志浩-.差动光谱共焦式玻璃基板平面度误差测量系统开发与实践)[J].实验室研究与探索,2022(10):87-91
A类：
B类：
差动,光谱共焦,玻璃基板,平面度误差,误差测量,测量系统,系统开发,开发与实践,误差检测,种差,仪器设计,工程任务,系统误差分析,精度设计,系统测量,测量原理,总体方案,机械结构,系统软件,标准环境,相对湿度,系统结构,精度验证,验证实验,测量精度
AB值：
0.276759
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