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湿法刻蚀制备铌酸锂锥形脊波导
文献摘要：
采用由质子交换辅助湿法刻蚀技术,在Z切铌酸锂晶体上成功制备锥形脊波导.该波导脊高为1.2μm、脊宽从4μm增大至8μm,插入损耗4.4 dB.波导表面光滑,表面粗糙度为0.84 nm,没有出现塌边或横向刻蚀的现象.波导宽度从4μm增大至8μm,模式尺寸在水平方向上从4.3μm增大至6.8μm,在垂直方向上从3.2μm增大至5.6μm.当波导宽度增大时模场尺寸也增大,实现小模场与大模场之间的转换.
文献关键词：
质子交换;铌酸锂;锥形结构;湿法刻蚀;脊波导
中图分类号：
作者姓名：
谷珍杰;温旭杰;张维佳;华平壤;饶前程;黄颖
作者机构：
天津科技大学电子信息与自动化学院,天津 300222;中电科技德清华莹电子有限公司,湖州 313000;天津大学精密仪器与光电子工程学院,天津 300072
文献出处：
引用格式：
[1]谷珍杰;温旭杰;张维佳;华平壤;饶前程;黄颖-.湿法刻蚀制备铌酸锂锥形脊波导)[J].天津科技大学学报,2022(02):57-60
A类：
B类：
湿法刻蚀,脊波导,质子交换,刻蚀技术,铌酸锂晶体,上成,脊宽,插入损耗,dB,表面光,表面粗糙度,塌边,垂直方向,大模场,锥形结构
AB值：
0.311557
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