典型文献
卷对卷化学气相沉积法制备石墨烯
文献摘要：
批到批(B2B)和卷到卷(R2R)工艺均可用于石墨烯薄膜的大规模生产.由于设备简单,B2B工艺在实验室研究中非常普遍.相对而言,R2R工艺更容易自动化,并且与随后的转移过程更兼容,因此在工业上更受青睐.目前,对R2R工艺的研究主要集中在反应器设计或装料结构等方面,对石墨烯生长动力学缺乏深入的了解.本文通过研究石墨烯的生长演化过程,发现在相同的反应参数下,R2R工艺的石墨烯晶畴密度大于B2B工艺的石墨烯畴密度,其原因归结于两种工艺不同的反应过程;而通过延长反应时间,可以对石墨烯薄膜的缺陷进行修复.在优化的R2R工艺下,可以获得与常规B2B工艺相当的高质量石墨烯薄膜.本工作可促进石墨烯薄膜制备技术的发展.
文献关键词：
中图分类号：
作者姓名：
梁明昊;钱凌轩;侯雨婷;李俊;沈长青;青芳竹;李雪松
作者机构：
文献出处：
引用格式：
[1]梁明昊;钱凌轩;侯雨婷;李俊;沈长青;青芳竹;李雪松-.卷对卷化学气相沉积法制备石墨烯)[J].中国科学：材料科学（英文）,2022(04):1042-1048
A类：
B类：
化学气相沉积法,B2B,R2R,石墨烯薄膜,规模生产,实验室研究,相对而言,反应器设计,装料,石墨烯生长,生长动力学,反应参数,反应过程,陷进,薄膜制备,制备技术
AB值：
0.280258
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