典型文献
基于电涡流传感器的机床导轨运动误差在机测量方法
文献摘要：
机床导轨运动时产生6个自由度的误差,在机检测其多自由度误差一直是难点.本文提出了一种嵌入电涡流位移传感器的直线导轨多自由度误差在机测量方法,在机测量导轨的两个直线度和滚动角.研究了参考基准的参考面误差以及安装平行度误差对测量结果的影响,提出了标定和补偿方法.并通过该装置的静态与动态对比实验表明,导轨行程200 mm时,直线度误差的对比残差为±3.7μm,滚动角的对比残差为±5".证实该装置可有效测量导轨运动误差,为多自由度在机测量系统的发展提供了研究基础.
文献关键词：
电涡流传感器;直线导轨;多自由度;在机测量
中图分类号：
作者姓名：
殷骁;张记云;娄志峰
作者机构：
大连理工大学机械工程学院,辽宁 大连116024
文献出处：
引用格式：
[1]殷骁;张记云;娄志峰-.基于电涡流传感器的机床导轨运动误差在机测量方法)[J].现代机械,2022(06):52-57
A类：
多自由度误差
B类：
电涡流传感器,机床导轨,运动误差,在机检测,电涡流位移传感器,直线导轨,滚动角,参考面,平行度误差,补偿方法,直线度误差,在机测量系统
AB值：
0.201032
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