典型文献
Ni含量对CrAlNiN薄膜微观结构和腐蚀性能的影响
文献摘要：
采用闭合场非平衡磁控溅射离子镀(CFUMSIP)技术在单晶Si和工具钢表面制备不同Ni含量的CrAlNiN薄膜,利用包括纳米压痕仪和电化学工作站等多种技术手段表征了CrAlNiN薄膜的成分、表面和截面形貌、相结构、硬度和腐蚀性能.研究结果表明,CrAlNiN薄膜呈纳米多层结构,Ni掺杂不会改变三元CrAlN薄膜fcc晶体结构.随着Ni含量的提高,CrAlNiN薄膜的硬度和弹性模量呈现先上升后下降的趋势.Ni含量为7.12 at.％时,CrAlNiN薄膜的硬度和弹性模量分别达到最大值21.5 GPa和301.6 GPa.随着Ni含量的提高,CrAlNiN薄膜腐蚀电位明显提高,腐蚀电流减小.当Ni含量为20.33 at.％时,CrAlNiN薄膜在3.5％NaCl溶液中呈现最优的耐腐蚀性能.
文献关键词：
CrAlNiN;磁控溅射;微观结构;力学性能;腐蚀性能
中图分类号：
作者姓名：
王宇星;楼白杨
作者机构：
上海城建职业学院 机电工程与信息学院,上海 201415;浙江工业大学 材料科学与工程学院,浙江 杭州 310014
文献出处：
引用格式：
[1]王宇星;楼白杨-.Ni含量对CrAlNiN薄膜微观结构和腐蚀性能的影响)[J].材料科学与工程学报,2022(02):239-243
A类：
CrAlNiN,CFUMSIP
B类：
非平衡,磁控溅射,离子镀,单晶,Si,工具钢,钢表面,表面制备,纳米压痕,压痕仪,电化学工作站,多种技术,截面形貌,相结构,多层结构,fcc,晶体结构,弹性模量,先上,at,GPa,腐蚀电位,腐蚀电流,NaCl,耐腐蚀性能
AB值：
0.256362
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