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碳源浓度对MPCVD金刚石涂层的影响研究
文献摘要：
以CH4和H2为气源,采用微波等离子体化学气相沉积法(MPCVD),通过改变碳源浓度分别为5％、10％、15％,在硬质合金(YG6)上沉积了金刚石涂层样品.使用白光共聚焦显微镜、纳米压痕仪等研究了样品的微观形貌、表面粗糙度和弹性模量.结果表明:金刚石涂层表面光滑均匀,1 mm2区域表面粗糙度约为2μm,随着甲烷浓度升高,薄膜弹性模量呈先升高后下降的趋势,其中10％甲烷浓度制备的样品平均弹性模量约为457.9 GPa.
文献关键词：
金刚石涂层;MPCVD;碳源浓度;性能
中图分类号：
作者姓名：
王天乐;刘义林;朱家诚;楼可旦;仇乐怡;杨涛;黄国波
作者机构：
台州学院医药化工与材料工程学院,浙江 台州 318000;台州耘智科技有限公司,浙江 台州 318000
文献出处：
引用格式：
[1]王天乐;刘义林;朱家诚;楼可旦;仇乐怡;杨涛;黄国波-.碳源浓度对MPCVD金刚石涂层的影响研究)[J].广州化工,2022(12):31-34
A类：
B类：
碳源浓度,MPCVD,金刚石涂层,CH4,H2,气源,微波等离子体化学气相沉积,化学气相沉积法,硬质合金,YG6,白光共聚焦,共聚焦显微镜,纳米压痕,压痕仪,微观形貌,表面粗糙度,弹性模量,涂层表面,表面光,mm2,甲烷浓度,GPa
AB值：
0.283495
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