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等离子增强磁控溅射氮化铬强化喷针头
文献摘要：
喷针头是自动喷号机中喷枪的易损部件,其耐磨性直接影响自动喷号机的打印标号效果.为延长其使用寿命,本文采用等离子增强磁控溅射技术,通过调控热丝放电电流、反应气体通量和镀膜时间,在喷针头表面制备化学计量比和厚度不同的氮化铬薄膜.实验结果表明,热丝放电电流大、镀膜时间短且氩氮比高时,氮化铬薄膜的硬度、模量及膜基结合强度较高.热丝电流5 Ax4、气压0.35 Pa、N2与Ar流量为1:1的条件下镀膜60 min,获得厚度1.25μm的氮化铬薄膜,其膜基结合强度高达87 N,涂覆氮化铬的喷针头耐磨性能提高至原来的2倍.
文献关键词：
等离子增强磁控溅射;氮化物陶瓷薄膜;力学性能;膜基结合强度
中图分类号：
作者姓名：
冯宇烜;陈西宁;周艳文
作者机构：
辽宁科技大学材料与冶金学院表面工程研究所,辽宁鞍山 114051
文献出处：
引用格式：
[1]冯宇烜;陈西宁;周艳文-.等离子增强磁控溅射氮化铬强化喷针头)[J].辽宁科技大学学报,2022(06):415-418
A类：
Ax4,氮化物陶瓷薄膜
B类：
等离子增强磁控溅射,针头,喷号机,喷枪,易损,标号,磁控溅射技术,热丝,放电电流,镀膜,表面制备,化学计量比,氮化铬薄膜,膜基结合强度,Pa,N2,Ar,强度高,涂覆,耐磨性能,性能提高
AB值：
0.236302
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