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应用Ti掺杂提高VO2薄膜太阳光红外能量调制能力
文献摘要：
二氧化钒薄膜独特的半导体-金属相变特性使其在智能窗等领域有着广阔的应用前景.该研究采用直流反应共溅射技术沉积二氧化钒薄膜,通过调节Ti靶的放电电流,实现了VO2薄膜不同量的Ti掺杂.并用X射线衍射仪、微区拉曼光谱仪、扫描电子显微镜、分光光度计与四探针测量系统对样品微结构及相变特性进行表征,分析不同Ti掺杂量对VO2薄膜微结构、表面形貌、相变温度、红外调制率的影响.研究结果表明,在Ti靶15mA放电电流下掺杂的样品,太阳能调制能力有明显提高,达13.8％,但是过高的Ti掺杂则会使VO2薄膜相变性能弱化甚至消失.
文献关键词：
二氧化钒;Ti掺杂;相变;红外调制率
中图分类号：
作者姓名：
曾蓝萱;李慧;戚家华;刘毅;叶凡;蔡兴民;范平;张东平
作者机构：
深圳大学物理与光电工程学院,深圳市先进薄膜与应用重点实验室,广东深圳518060
文献出处：
引用格式：
[1]曾蓝萱;李慧;戚家华;刘毅;叶凡;蔡兴民;范平;张东平-.应用Ti掺杂提高VO2薄膜太阳光红外能量调制能力)[J].安庆师范大学学报（自然科学版）,2022(01):35-42
A类：
红外调制率,15mA
B类：
Ti,VO2,太阳光,调制能力,二氧化钒,金属相变,相变特性,智能窗,共溅射,放电电流,不同量,微区,拉曼光谱,光谱仪,分光光度计,四探针,测量系统,表面形貌,相变温度,流下,相变性能
AB值：
0.23728
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