典型文献
多环谐振微陀螺性能参数的有限元计算
文献摘要：
多环谐振陀螺是目前最具发展前景的MEMS陀螺之一,如何快速对多环谐振陀螺进行参数优化设计已成为研究热点.从多环谐振陀螺的基本结构出发,通过理论研究,发现影响机械灵敏度和机械热噪声的主要结构参数为陀螺的谐振频率、有效质量、角度增益以及品质因子.使用COMSOL和MATLAB等软件搭建了有限元计算平台,实现了对上述性能参数的有限元仿真求解,为研究环形谐振陀螺结构的性能参数和优化设计提供了有力的软件仿真工具,并且可以推广应用到其他陀螺器件的研究中.
文献关键词：
多环谐振微陀螺仪;有限元 (FEM);谐振频率;角度增益;有效质量
中图分类号：
作者姓名：
卢浩琳;张卫平;谷留涛;冯军
作者机构：
上海交通大学 微米纳米加工技术国家级重点实验室·上海·200240;上海交通大学 电子信息与电气工程学院 微纳电子学系·上海·200240
文献出处：
引用格式：
[1]卢浩琳;张卫平;谷留涛;冯军-.多环谐振微陀螺性能参数的有限元计算)[J].飞控与探测,2022(04):76-81
A类：
机械热噪声,角度增益,多环谐振微陀螺仪
B类：
性能参数,有限元计算,MEMS,参数优化设计,基本结构,机械灵敏度,主要结构,谐振频率,有效质量,品质因子,COMSOL,计算平台,有限元仿真,软件仿真,仿真工具,FEM
AB值：
0.244473
机标中图分类号，由域田数据科技根据网络公开资料自动分析生成，仅供学习研究参考。
