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H型梁谐振式MEMS压力传感器设计
文献摘要：
谐振式微电子机械系统(micro-electro-mechanical system,MEMS)压力传感器因其灵敏度高、体积小等特点近年来被广泛研究.根据谐振梁在不同压力作用下发生振动时,轴向应力的改变引起谐振梁等效刚度变化,从而进一步改变谐振梁谐振频率的原理,文章提出一种采用电磁激励/电磁拾振方式测量外界压力的谐振式压力传感器,并对传感器建立模型,利用ANSYS有限元仿真软件对传感器进行模拟分析与仿真验证.结果表明,量程为0～300 kPa、最大过载1.2倍满量程(full-scale,FS)时,初始频率为57.984 kHz,传感器灵敏度达66.98 Hz/kPa,非线性误差小于0.15％FS.
文献关键词：
微电子机械系统(MEMS);谐振式压力传感器;电磁激励;频率测量;H型双端固支梁
中图分类号：
作者姓名：
黄崇勇;许高斌;陈兴;马渊明
作者机构：
合肥工业大学 电子科学与应用物理学院,安徽 合肥 230601;安徽省MEMS工程技术研究中心,安徽 合肥 230601
文献出处：
引用格式：
[1]黄崇勇;许高斌;陈兴;马渊明-.H型梁谐振式MEMS压力传感器设计)[J].合肥工业大学学报（自然科学版）,2022(02):213-218
A类：
谐振式压力传感器,双端固支梁
B类：
型梁,MEMS,传感器设计,式微,微电子机械系统,micro,electro,mechanical,system,灵敏度高,体积小,轴向应力,等效刚度,刚度变化,谐振频率,电磁激励,外界压力,建立模型,有限元仿真,仿真验证,kPa,最大过载,满量程,full,scale,FS,kHz,传感器灵敏度,非线性误差,频率测量
AB值：
0.30151
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