典型文献
背散射探测器在场发射扫描电镜纳米尺度高分辨表面分析中的应用
文献摘要：
以JSM-7900F型场发射扫描电子显微镜为例,讨论二次电子和背散射电子在形貌表征中的应用,利用该仪器配备的3种探头,通过优化实验条件,对具有纳米尺度的样品进行形貌观察,对比分析成像效果,并讨论各实验条件的影响因素.结果表明,利用背散射探测器结合电子束减速模式可对玻璃表面几纳米的颗粒成像,图像信噪比较高,成像效果优于高分辨模式即高位电子探头,拓展了背散射电子在高分辨成像中的应用.
文献关键词：
扫描电镜;背散射电子;二次电子;探测器;高分辨
中图分类号：
作者姓名：
岳乃琳;刘红艳;张伟
作者机构：
吉林大学测试科学实验中心,长春130012
文献出处：
引用格式：
[1]岳乃琳;刘红艳;张伟-.背散射探测器在场发射扫描电镜纳米尺度高分辨表面分析中的应用)[J].吉林大学学报（理学版）,2022(05):1189-1194
A类：
7900F,电子束减速模式
B类：
探测器,场发射扫描电镜,纳米尺度,表面分析,JSM,场发射扫描电子显微镜,二次电子,背散射电子,形貌表征,探头,优化实验,实验条件,形貌观察,成像效果,图像信噪比,高分辨成像
AB值：
0.259056
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