典型文献
基于钽酸锂薄膜衬底的声表面波谐振器
文献摘要：
在5G通信时代,声表面波(SAW)滤波器作为射频前端滤波器的一种重要解决方案,面临着频率提升和带宽拓展的双重困难,其性能优劣直接影响整个通信系统的质量.近年来,随着离子切片技术的成熟,压电单晶薄膜技术给SAW滤波器带来了新转机.与传统的42°Y切钽酸锂(LiTaO3)衬底相比,基于离子切片技术的同切型钽酸锂-二氧化硅-硅(42°Y-cut LiTaO3-on-insulator,42-LTOI)衬底能有效提升器件的性能.通过研究基于42-LTOI衬底的SAW谐振器的设计参数与其各性能指标(性能系数、机电耦合系数、寄生模式抑制)之间的关系,可以为进一步设计满足5G通信频段要求的SAW滤波器提供指导.通过理论分析、有限元仿真与实验测试相对比的方法,在谐振器优化设计方面得到以下结论:增加谐振器的电极对数或者电极孔径,能够有效提升器件的性能系数,其中增加电极对数的作用更为明显;在具有相同静态电容的谐振器中,电极孔径与电极对数的比值越小(即谐振器的形状在声波传播方向上越狭长),器件的性能系数越高;谐振器的机电耦合系数随电极周期增加呈现先增大后减小的趋势,在本实验使用的衬底参数下,当电极周期为1.8μm时,具有10.8％的理论最大值;谐振器的寄生模式响应会随电极对数的增加而逐渐增强,采用赝电极结构可以有效抑制寄生响应.
文献关键词：
钽酸锂薄膜衬底;声表面波谐振器;性能系数;机电耦合系数;寄生模式抑制
中图分类号：
作者姓名：
杨清瑞;王志超;宋学毅;王昭勋;陈雪娇;张师斌
作者机构：
天津大学精密仪器与光电子工程学院,天津 300072;中国科学院上海微系统与信息技术研究所,上海 200050
文献出处：
引用格式：
[1]杨清瑞;王志超;宋学毅;王昭勋;陈雪娇;张师斌-.基于钽酸锂薄膜衬底的声表面波谐振器)[J].天津大学学报（自然科学与工程技术版）,2022(10):1093-1100
A类：
钽酸锂薄膜衬底,LTOI,寄生模式抑制
B类：
声表面波谐振器,SAW,滤波器,射频前端,通信系统,切片技术,压电单晶,单晶薄膜,膜技术,转机,LiTaO3,二氧化硅,cut,on,insulator,提升器,设计参数,性能系数,机电耦合系数,频段,有限元仿真,实验测试,极孔,加电,波传播,传播方向,狭长,应会,电极结构
AB值：
0.195755
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