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双层泵腔压电无阀微泵结构设计与优化
文献摘要：
面向植入式微泵在生物医疗领域的应用需求,为了提高低电压及微型化条件下微泵的输出流量,该文设计了一种双层泵腔压电无阀植入式微泵.基于压电振子的压电耦合仿真以及微泵的电-固-液三相耦合仿真,验证了双层泵腔微泵设计的有效性,并优化了结构及驱动参数.通过实验验证了耦合仿真结果的正确性,并测试了微泵的流量范围.结果表明,微泵最优设计参数:扩散角为30°,颈宽为300μm,上层泵腔高度为100μm.微泵的净流量随电压的增大而增大,且适用于低频驱动.实验结果表明,双层泵腔压电无阀微泵的输出流量是传统压电无阀微泵的5.38倍.
文献关键词：
压电微泵;双层泵腔;电-固-液耦合;压电耦合;喷嘴扩散器
中图分类号：
作者姓名：
单杰;郭利华;冉朋辉;李经民
作者机构：
大连理工大学 辽宁省微纳米技术与系统重点实验室,辽宁 大连 116024
文献出处：
引用格式：
[1]单杰;郭利华;冉朋辉;李经民-.双层泵腔压电无阀微泵结构设计与优化)[J].压电与声光,2022(05):746-751
A类：
双层泵腔,压电微泵,喷嘴扩散器
B类：
无阀微泵,结构设计与优化,植入式,式微,生物医疗,医疗领域,应用需求,低电压,微型化,输出流量,压电振子,压电耦合,耦合仿真,三相,最优设计,设计参数,扩散角,净流量
AB值：
0.196481
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