典型文献
基于Si/SiNx双层波导的偏振无关光功分器
文献摘要：
针对目前大部分偏振无关光功分器结构复杂和损耗大的问题,文章设计了一种基于Si/SiNx双层波导的偏振无关光功分器,用于1550 nm波长光信号的1×2均匀功分.通过等离子体增强化学气相沉积(PECVD)方法调节Si/SiNx层的折射率,使同一波长下横电(TE)和横磁(TM)偏振模的二重像点位置相等,实现偏振无关功能.同时,通过对多模干涉波导宽度的合理选择,减小器件尺寸.通过优化锥形波导,进一步降低器件的插入损耗和反射损耗.运用三维(3 D)有限时域差分方法进行建模仿真,仿真结果表明,文章所提偏振无关光功分器尺寸仅为3.0μm×16.8μm,插入损耗和反射损耗分别低至0.04和-48.80 dB,分光比达到了1.00033,插入损耗小于1 dB,带宽可达380 nm,在未来的集成光路中具有潜在的应用价值.
文献关键词：
光功分器;多模干涉;SiNx;偏振无关
中图分类号：
作者姓名：
刘海广;张跃腾;宋雨辰;沈晗潇;陈鹤鸣;汪静丽
作者机构：
南京邮电大学 电子与光学工程学院、柔性电子(未来技术)学院,南京 210023;南京邮电大学 贝尔英才学院,南京 210023
文献出处：
引用格式：
[1]刘海广;张跃腾;宋雨辰;沈晗潇;陈鹤鸣;汪静丽-.基于Si/SiNx双层波导的偏振无关光功分器)[J].光通信研究,2022(04):42-46
A类：
光功分器
B类：
SiNx,波导,偏振无关,关光,光信号,等离子体增强化学气相沉积,PECVD,折射率,TE,TM,二重,相等,多模干涉,小器,锥形,插入损耗,反射损耗,有限时域差分,差分方法,建模仿真,dB,光比,比达,光路
AB值：
0.235042
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