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用于光热反射显微热成像的位置漂移修正方法
文献摘要：
光热反射显微热成像测试过程中需要采集若干被测图像,整个过程中图像各像素与被测表面位置的对应关系应保持不变,但是被测表面不可避免地会发生位置漂移,从而引起测量误差.结合光热反射显微热成像的具体应用场景和位置漂移的特性,设计了有针对性的亚像素图像配准算法,结合PID控制驱动三轴纳米位移台实现实时的位置漂移修正.实验验证了算法性能以及漂移修正效果,位移修正残差在5 nmn以内,与未补偿测量相比,位置漂移引入的误差得到了较好的抑制,提高了光热反射显微热成像测试的准确性.
文献关键词：
计量学;亚像素图像配准;光热反射显微热成像;位置漂移;PID
中图分类号：
作者姓名：
刘岩;翟玉卫;丁晨;乔玉娥;荆晓冬;吴爱华
作者机构：
中国电子科技集团公司第十三研究所,河北 石家庄050051
文献出处：
引用格式：
[1]刘岩;翟玉卫;丁晨;乔玉娥;荆晓冬;吴爱华-.用于光热反射显微热成像的位置漂移修正方法)[J].计量学报,2022(09):1142-1146
A类：
光热反射,光热反射显微热成像,热反射显微热成像,亚像素图像配准
B类：
位置漂移,修正方法,试过,中图,测量误差,PID,动三轴,算法性能,nmn,未补
AB值：
0.100086
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