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基于JMP的AOI检测能力分析
文献摘要：
目前,光学检查设备AOI已经成为TFT-LCD行业主要的微观缺陷检查设备,并大量应用到各工艺检查单元.随着全球面板产业竞争的加剧,产线和产品的智能化、高效化需求日渐剧增,但各个工序的检测设备维度往往不唯一,这为设备间数据的流通和统一造成障碍,为解决此类问题,该文基于JMP的数据预测和分析功能,对设备参数进行优化和重新设计,并对新参数进行ROC验证,验证结果达到预期.同时为Cell自动化监控和反馈机制的建立提供理论和数据支持.
文献关键词：
AOI;JMP;ROC;预测建模;PEAK
中图分类号：
作者姓名：
刘海龙;王成祥;孟战虎;康慧;王雨强;王星宇
作者机构：
鄂尔多斯市源盛光电有限责任公司,内蒙古 鄂尔多斯 017000
文献出处：
引用格式：
[1]刘海龙;王成祥;孟战虎;康慧;王雨强;王星宇-.基于JMP的AOI检测能力分析)[J].科技创新与应用,2022(34):55-58
A类：
B类：
JMP,AOI,检测能力,能力分析,检查设备,TFT,LCD,微观缺陷,缺陷检查,检查单,球面,产业竞争,高效化,检测设备,数据预测,设备参数,重新设计,Cell,自动化监控,反馈机制,预测建模,PEAK
AB值：
0.507712
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