典型文献
基于锁相放大的集成电路内部电信号光学探测方法
文献摘要：
为了实现集成电路内部电信号波形的非接触探测,设计了基于共光路干涉仪的探测光路,同时利用锁相放大技术噪声抑制能力强,灵敏度高的特点,提出了基于锁相放大的信号处理方法提取反射光中携带的微弱器件电光信号.该方法利用器件电光信号强度随器件电信号周期性变化的特点,首先将来自光电探测器的电信号进行锁相放大处理消除大部分噪声,然后再利用平均处理技术进一步抑制外界噪声干扰,提高器件电光信号的信噪比,从而将淹没在噪声中的器件电光信号提取出来,重建器件内部电学信息.利用该探测方法成功探测到芯片内部动态工作电流在μA量级的电路节点电光信号,信噪比达到4.99 dB,而仅使用平均处理技术得到的信号信噪比只有-44.29 dB.研究内容为集成电路内部电信号的光学探测提供了一种新的思路,未来可在集成电路动态缺陷检测领域得到应用.
文献关键词：
集成电路;锁相放大;电光探针;电光信号
中图分类号：
作者姓名：
刘鹏程;马英起;韩建伟
作者机构：
中国科学院国家空间科学中心空间天气学国家重点实验室,北京100190;中国科学院大学天文与空间科学学院,北京100049
文献出处：
引用格式：
[1]刘鹏程;马英起;韩建伟-.基于锁相放大的集成电路内部电信号光学探测方法)[J].光学精密工程,2022(18):2178-2186
A类：
电光信号,电光探针
B类：
集成电路,路内,电信号,光学探测,探测方法,信号波形,非接触,触探,光路,干涉仪,测光,锁相放大技术,噪声抑制,抑制能力,灵敏度高,信号处理,取反,反射光,微弱,法利,用器,信号强度,周期性变化,光电探测器,大处,噪声干扰,淹没,信号提取,电学,比达,dB,缺陷检测,检测领域
AB值：
0.24844
相似文献
机标中图分类号，由域田数据科技根据网络公开资料自动分析生成，仅供学习研究参考。
